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性能指标：
加速电压: 200 KV 电子枪：肖特基热场发射 TEM点分辨率：0.25nm TEM信息分辨率: 0.12 nm STEM分辨率: 0.16 nm 样品倾斜角度X/Y：±30o 能谱能量分辨率：136 ev 元素检测范围：B～U元素
主要应用：
样品要求：
仪器说明：
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